Спецификация:
Материал | Кристаллический кварц |
Допуск на диаметр | +0,0,-0,2 мм |
Допуск по толщине | +/-0,2 мм |
Качество поверхности | 20-10 царапать и копать |
Очистить диафрагму | >90% |
Параллелизм | <5 угловых секунд |
Искажение волнового фронта | <λ/8@632.8nm |
Толщина | Т=0,5 мм, 1 мм, 1,5 мм, 2,0 мм |
Покрытие | без покрытия |